微型压力传感器精度如何保证

    现在很多传感器都向着微型化发展，微型传感器更方便我们安装，但是我们在研制微型传感器的时候如何确保他/她的精度是一个很大的难题，以压力传感器为例，很多地方都需要微型压力传感器，但同时也需要高精度的压力传感器，生产出高精度微型压力传感器显得很重要。

    微型压力传感器采用压电单晶片结构，并内置前置放大器，通过放大器放大微弱信号并实现阻抗变换，从而使传感器具有量程小、灵敏度高、抗干扰性好等特点。这类传感器已广泛用于脉搏、管壁压力波动等微小信号的检测。但与此同时，对于微压传感器精准度的检验这一技术难题，就迫切需要简便的测量装置测量该类型传感器的性能。

    对于微型压力传感器来说，灵敏度和线性度是微型压力传感器最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需求的传感器，必需探索出一种微型压力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法。实际的研究中，发现一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分的仿真方法。通过这一方法实现了在满量程范围内不同压力值下对传感器电压输出值的精确估计，在此基础上对压力传感器的灵敏度和线性度进行了有效仿真。

    为了确保微型压力传感器精度，我们如需从各个角度进行优化，除了上面介绍的以为。在结构上，综合梁膜结构与平膜双岛结构的优点，采用双岛-梁结构等等。